GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
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时间:2024-05-10 14:54:23
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基本信息
| 标准名称： | 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 |
| 英文名称： | The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： | 冶金 >> 金属材料试验 >> 金属材料化学分析 |
| 替代情况： | 替代GB/T 14143-1993;GB/T 1557-1989 |
| 发布部门： | 中华人民共和国质量监督检验检疫总局和国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2006-07-18 |
| 实施日期： | 2006-11-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 中国有色金属工业协会 |
| 提出单位： | 中国有色金属工业协会 |
| 归口单位： | 全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 峨眉半导体材料厂 |
| 起草人： | 梁红、覃锐兵、王炎 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2006-11-01 |
| 页数： | 7页 |
| 计划单号： | 20060512-T-610 |
适用范围
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
本标准适用于室外温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm中间的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固熔度。
前言
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法 冶金 金属材料试验 金属材料化学分析
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