JIS C5630-1-2008 半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义
作者:标准资料网
时间:2024-05-12 17:20:06
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【英文标准名称】:Semiconductordevices--Micro-electromechanicaldevices--Part1:Termsanddefinitions
【原文标准名称】:半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义
【标准号】:JISC5630-1-2008
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:2008-03-20
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonElectronics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:この規格は,製造プロセスを含むマイクロマシン及びMEMSに関する用語について規定する。
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_99
【页数】:30P;A4
【正文语种】:日语
【原文标准名称】:半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义
【标准号】:JISC5630-1-2008
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:2008-03-20
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonElectronics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:この規格は,製造プロセスを含むマイクロマシン及びMEMSに関する用語について規定する。
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_99
【页数】:30P;A4
【正文语种】:日语
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